Зеленоградский нанотехнологический центр отправит первый серийный отечественный литограф заказчику в декабре 2026 года — им станет «Маппер» из «Ростеха».
По данным источников, близких к компании и Минпромторгу, речь идёт об установке с разрешением 350 нм, созданной ЗНТЦ. Вторая машина из серийной партии уйдёт «Отраслевым решениям» из группы «Элемент» — об этом было известно ещё в сентябре 2025 года. В самом ЗНТЦ комментировать поставки отказались, хотя руководитель производства изделий РЭА центра Дмитрий Калбазов на выставке ExpoElectronica-2026 подтверждал наличие двух коммерческих контрактов. Ни «Маппер», ни «Элемент» на запросы не ответили.
«Маппер» — МЭМС-фабрика в столичном Технополисе «Москва», выпускающая чувствительные кремниевые элементы по технологии микроэлектромеханических систем на 100-мм пластинах. У предприятия 1500 кв м чистых помещений, свыше 30 единиц оборудования, порядка 70 сотрудников и потенциал до 5000 пластин ежегодно. Основанная в 2012 году как «дочка» нидерландской Mapper Lithography, с апреля 2022-го компания принадлежит АО «ОКБ «Астрон» холдинга «Швабе» госкорпорации «Ростех». Вместе с «Астроном» она участвует в проекте Минпромторга по серийному выпуску ИК-матриц для беспилотников и тепловизоров: к 2028 году в стране планируют производить около 11,5 тыс. детекторов инфракрасного излучения в год, а на каждый из шести цехов производственной цепочки выделено от 4 млрд до 15 млрд руб.
Оборудование ЗНТЦ предназначено для проекционного переноса рисунка фотошаблона на полупроводниковую пластину при выпуске сверхбольших интегральных схем с топологической нормой 350 нм — такие нормы востребованы в силовой и автомобильной электронике, а также промышленных системах. Литограф создан совместно с белорусским «Планаром», имеет рабочее поле 22×22 мм и работает с пластинами диаметром до 200 мм. Вместо ртутной лампы здесь применён твердотельный лазер — это даёт большую мощность и экономичность.
Базовый вариант установки стоит 392 млн руб. без НДС, а версия с расширенным сервисом и пятилетней дополнительной гарантией — 561 млн руб. Зарубежные аналоги дороже на 40–60%. Производительность — до 63 пластин диаметром 150 мм либо 43 пластины диаметром 200 мм в час. Изготовление и поставка занимают 18 месяцев с момента внесения 50% аванса. ЗНТЦ также работает над следующим поколением литографа с разрешением 130 нм: опытный образец, созданный вместе с «Планаром», анонсировали в августе 2026 года, общая стоимость ОКР составляет 5,7 млрд руб., а серийные поставки запланированы с 2027 года.
Загрузка...
